-
1 SMIF pod
контейнер для напівпровідникових пластин із стандартним механічним інтерфейсом (для транспортування пластин в касетах) -
2 pod
контейнер (напр. для напівпровідникових пластин)- SMIF pod
См. также в других словарях:
SMIF — Создатель: Hewlett Packard Создан: 1980 е годы SMIF, Standard Mechanical InterFace (Стандартный Механический ИнтерФейс) стандарт SEMI E19 1105[1] на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. История … Википедия
Smif interface — Acronym For Standard Mechanical InterFace.An Isolation technology developed in the 1980s by group known as micronauts at Hewlett Packard in Palo Alto. The system is used in semiconductor wafer fabrication and cleanroom environments. Its purpose… … Wikipedia
FOUP — is an acronym for Front Opening Unified Pod.It is a specialised plastic enclosure designed to hold silicon wafers securely and safely in a controlled environment, and to allow the wafers to be removed for processing or measurement by tools… … Wikipedia